直線運動システムの精度を評価する際、焦点となるのは駆動機構の位置決め精度と再現性であることが多い。しかし、直線システムの精度（または不正確さ）に影響を与える要因は数多くあり、直線誤差、角度誤差、アッベ誤差などが挙げられる。これら3種類の誤差の中で、アッベ誤差は測定、定量化、防止が最も難しいものの、機械加工、計測、高精度位置決めなどの用途において、望ましくない結果をもたらす最も大きな原因となり得る。

アッベ誤差は角度誤差から始まります。アッベ誤差は、モーションシステムの角度誤差と、工具や荷物の搬送などの対象点と、直線軸のねじやガイドウェイなどの誤差の発生源との間のオフセットの組み合わせによって発生します。角度誤差（一般的にロール、ピッチ、ヨーと呼ばれます）は、直線システムが3つの軸を中心に回転することによって生じる不要な動きです。

システムが下図のようにX軸に沿って水平方向に移動している場合、ピッチはY軸を中心とした回転、ヨーはZ軸を中心とした回転、ロールはX軸を中心とした回転として定義されます。

ロール、ピッチ、ヨーの誤差は通常、ガイドシステムの精度不足に起因しますが、取り付け面や取り付け方法も角度誤差の原因となることがあります。例えば、精密に加工されていない取り付け面、十分に固定されていない部品、あるいはシステムと取り付け面間の熱膨張率の差などは、リニアガイド自体に内在する誤差よりも大きな角度誤差を引き起こす可能性があります。

クロスローラー式リニアベアリングは、取り付け誤差に特に敏感であることに注意してください。その剛性と精度の高さゆえに、他のタイプの取り付け誤差に対する許容度は低くなります。そのため、多くのリニアベアリングメーカーは、クロスローラー式ベアリングは、たわみが数マイクロメートル以下と予想される研磨面にのみ取り付けることを推奨しています。

アッベ誤差は、ほとんどの場合非常に小さな角度誤差を増幅するため、特に問題となる。その大きさは、誤差の原因となる要素（アッベオフセットと呼ばれる）からの距離が大きくなるにつれて増大する。

片持ち荷重の場合、荷重が角度誤差の原因から遠いほど、アッベ誤差は大きくなります。角度誤差の原因は、通常、ガイドウェイまたは取り付け面上の点です。さらに、多軸構成の場合、各軸に角度誤差が存在するため、アッベ誤差はさらに複雑になります。

アッベ誤差を最小限に抑える最良の方法は、高精度ガイドを使用することと、取り付け面が十分に加工されていることを確認することです。これにより、システムに余分な誤差が生じないようにします。また、荷重をシステムの中心にできるだけ近づけることでアッベオフセットを低減することも、アッベ誤差を最小限に抑えるのに役立ちます。

アッベ誤差は、システムから完全に独立したレーザー干渉計などの光学機器を用いることで最も正確に測定できます。しかし、レーザー干渉計はほとんどのシステム構成には適していないため、アッベ誤差が問題となる多くの用途ではリニアエンコーダが使用されます。この場合、エンコーダの読み取りヘッドを工具や負荷などの測定対象点に取り付けることで、アッベ誤差を最も正確に測定できます。

XYテーブルは、直交座標ロボットなどの他のタイプの多軸システムに比べて、アッベ誤差の影響を受けにくい。これは主に、XYテーブルでは片持ち梁の移動量が最小限に抑えられ、通常はY軸キャリッジの中心に負荷がかかる状態で動作するためである。

理想的な世界では、直線運動システムは完全に平坦で直線的な動きを示し、毎回誤差ゼロで目的の位置に到達するはずです。しかし、最高精度の直線ガイドや駆動装置（ネジ、ラックアンドピニオン、ベルト、リニアモーターなど）であっても、加工公差、取り扱い、取り付け、さらには使用方法によって、何らかの誤差が生じます。

直線運動システムには、直線誤差、角度誤差、平面誤差の3種類の誤差が存在し、それぞれがシステムとアプリケーションに異なる影響を与えます。必要のない高精度部品に費用をかけたり、アプリケーションの要件を満たさないシステムになってしまうことを避けるためには、これら3種類の直線運動誤差の違いとその原因を理解することが重要です。

線形システムにおける線形誤差：線形誤差には、位置決め精度と再現性が含まれます。これらの誤差は、システムが目的の位置に到達する能力を示すため、位置決め誤差と呼ばれることもあります。線形システムの文脈では、「精度」という用語は通常、位置決め精度を指し、これは目標位置とシステムが達成した位置との間の偏差です。再現性とは、システムが複数回の試行で同じ位置にどれだけ正確に戻るかを示します。線形誤差の主な原因は駆動機構（例えば、ねじ、ラックアンドピニオン、またはリニアモーター）ですが、システムのチューニングも、目標位置に正確かつ再現的に到達する能力に影響を与える可能性があります。

線形システムにおける角度誤差

前述のとおり、角度誤差とは、対象点が軸を中心に回転することによって生じる誤差です。これらは通常、ロール誤差、ピッチ誤差、ヨー誤差と呼ばれ、それぞれX軸、Y軸、Z軸を中心とした回転を表します。対象点がテーブルやスライドの中心にある場合、角度誤差はアプリケーションに大きな影響を与えない可能性があります。しかし、対象点がテーブルやスライドからある程度離れている場合、距離によって増幅される角度誤差であるアッベ誤差は、特に機械加工、測定、組み立てなどのアプリケーションにおいて、望ましくない結果をもたらす可能性があります。角度誤差、ひいてはアッベ誤差の主な原因は、リニアガイドの精度不足と、取り付け面の加工不良です。

線形システムにおける平面誤差

平面誤差（しばしば真直度や平面度の問題と呼ばれる）は、システムの移動中に発生しますが、軸を中心とした回転ではなく、理想的な直線状の基準面からのずれです。真直度は、システムがX軸に沿って移動する際のY軸方向の移動範囲を定義します。同様に、平面度は、システムがX軸に沿って移動する際のZ軸方向の移動範囲を定義します。

ここで注意すべき点は、基準点が移動軸（通常はX軸）であるため、平面誤差は残りの2つの軸に沿った動きに関わる2種類しかないということです。

平面誤差は、塗布、機械加工、測定など、動作中のシステム挙動が重要な用途において有害です。多軸システムでは、1つの軸の平面誤差が隣接する軸（または複数の軸）に影響を与えます。特に、XYテーブル、平面テーブル、一部の直交座標系のように軸が積み重ねられている場合は顕著です。