ベースまたはハウジング、ガイド システム、および駆動機構で構成されるリニア モーション システムは、ほぼすべての用途に適合するさまざまな設計と構成で利用できます。また、その設計は非常に多様であるため、多くの場合、主要な構造と動作原理に従って分類されます。好例: 「アクチュエータ」という用語は通常、ガイドと駆動機構を囲むアルミニウム製ハウジングを備えた直線運動システムを指します。「テーブル」または「XY テーブル」と呼ばれるシステムは、通常、ガイドおよび駆動コンポーネントが取り付けられる平らなベースプレートを使用して設計されています。「リニアステージ」または「リニア並進ステージ」は通常、リニアテーブルと構造は似ていますが、位置決めと移動の誤差を最小限に抑えるように設計されたシステムを指します。

リニア ステージの構成要素についてのルールや厳格なガイドラインはありませんが、リニア モーション システムの最も正確なカテゴリとして広く認識されています。システムがリニアステージと呼ばれる場合、そのシステムは高い位置決め精度と再現性を提供するだけでなく、角度誤差や平面誤差も低いと一般に理解されています。このレベルのパフォーマンスを達成するために、ステージ設計で使用されるコンポーネントの構造と種類に関してメーカーが通常従ういくつかの原則があります。

まず、一般にアルミニウムの押し出し材やプレートをベースとして使用する他のリニア モーション システムとは異なり、リニア ステージは精密に研磨されたベースから始まります。最高レベルの平面度、真直度、剛性を実現するように設計されたステージでは、多くの場合、スチールまたは花崗岩で作られたベースが使用されますが、一部の設計ではアルミニウムが使用されています。また、スチールと花崗岩はアルミニウムよりも熱膨張係数が低いため、極端な温度または変化する温度の環境でも優れた寸法安定性を示します。

リニア ガイド システムは移動の真直度と平坦度にも貢献するため、リニア ステージに最適なガイド機構は高精度プロファイル レール、クロス ローラー スライド、またはエア ベアリングです。これらのガイド システムは、角度誤差を低減するために非常に硬いサポートも提供します。角度誤差は、誤差の原点 (ガイド) と注目点 (ツーリング ポイントまたは荷重位置) の間にオフセットがある場合にアッベ誤差につながる可能性があります。

多くの種類のリニアモーションシステムは高精度の駆動機構を使用しますが、リニアステージでは圧倒的に高精度ボールネジまたはリニアモーターのいずれかの技術が使用されます。リニア モーターは、機械的なドライブトレインやドライブとモーター間のカップリングに固有のコンプライアンスとバックラッシュを排除するため、通常、最高レベルの位置決め精度と再現性を提供します。サブミクロンの位置決めタスクという特殊な場合には、高精度で再現性のある動作を実現するピエゾ アクチュエータまたはボイス コイル モータが通常、駆動機構として選択されます。

「リニア ステージ」という用語は単軸モーション システムを意味しますが、ステージを組み合わせて XY ステージ、平面ステージ、ガントリー ステージなどの多軸システムを形成することもできます。